Hvordan virker magnetronforstøvning?
Magnetronsputtering er en fysisk dampaflejringsmetode (PVD), en klasse af vakuumaflejringsprocesser til fremstilling af tynde film og belægninger.
Navnet "magnetronforstøvning" stammer fra brugen af magnetiske felter til at kontrollere de ladede ionpartiklers adfærd i magnetronforstøvningsprocessen.Processen kræver et højvakuumkammer for at skabe et lavtryksmiljø til sputtering.Gassen, der udgør plasmaet, typisk argongas, kommer først ind i kammeret.
En høj negativ spænding påføres mellem katoden og anoden for at starte ioniseringen af den inerte gas.Positive argonioner fra plasmaet kolliderer med det negativt ladede målmateriale.Hver kollision af højenergipartikler kan få atomer fra måloverfladen til at slynges ud i vakuummiljøet og fremdrives på overfladen af substratet.
Et stærkt magnetfelt producerer høj plasmatæthed ved at begrænse elektronerne nær måloverfladen, øge afsætningshastigheden og forhindre skade på substratet fra ionbombardement.De fleste materialer kan fungere som et mål for sputteringsprocessen, da magnetronforstøvningssystemet ikke kræver smeltning eller fordampning af kildematerialet.
Produktparametre
Produktnavn | Ren titanium mål |
karakter | Gr1 |
Renhed | Mere 99,7% |
Massefylde | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 stykker |
Hot salgsstørrelse | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Ansøgning | Belægning til PVD-maskine |
Lagerstørrelse | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Andre tilgængelige mål | Molybdæn (Mo) Chrome(Cr) TiAl Kobber (Cu) Zirkonium(Zr) |
Ansøgning
■Belægning af integrerede kredsløb.
■Overfladepanelvisninger af fladskærme og andre komponenter.
■Dekoration og glasbelægning mv.
Hvilke produkter kan vi producere
■Højrent titanium fladt mål (99,9 %, 99,95 %, 99,99 %)
■Standard gevindforbindelse for nem installation (M90, M80)
■Uafhængig produktion, overkommelig pris (kvalitetskontrollerbar)
Ordreinformation
Forespørgsler og bestillinger skal indeholde følgende oplysninger:
■ Diameter, Højde (såsom Φ100*40mm).
■ Trådstørrelse (såsom M90*2mm).
■ Antal.
■ Krav om renhed.