Metal drejemål
Ortogonale magnetiske og elektriske felter påføres mellem sputtermålet (katoden) og anoden.Og fyld den nødvendige inerte gas (normalt Ar-gas) i højvakuumkammeret.Under påvirkning af et elektrisk felt ioniseres Ar-gas til positive ioner og elektroner.En vis negativ højspænding påføres målet, elektronerne udsendt af målet påvirkes af magnetfeltet, ioniseringssandsynligheden for arbejdsgassen øges, et højdensitetsplasma dannes nær katoden, og Ar-ionerne påvirkes af Lorentz-styrken.Accelerer derefter for at flyve til måloverfladen og bombarder måloverfladen med høj hastighed, så de sputterede atomer på målet følger princippet om momentumkonvertering, flyver fra måloverfladen til substratet og afsætter en film med høj kinetisk energi.
For yderligere at forbedre udnyttelsesgraden af målmaterialet er der designet en roterende katode med højere brugseffektivitet, og et rørformet målmateriale anvendes til sputtering.Forbedringen af sputterudstyr kræver, at målet ændres fra en flad form til en rørformet form, og udnyttelsesgraden af det rørformede roterende mål kan være så høj som 70%, hvilket stort set løser problemet med lav udnyttelse af det flade mål.
Produktnavn | Metal drejemål |
Materiale | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Hot salgsstørrelse | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Kan også behandles i henhold til kundernes specifikke krav |
MOQ | 3 stk |
Pakke | Laget trækasse |
Ansøgning
Sputtering coating er en ny type fysisk damp coating metode.Sammenlignet med fordampningsbelægningsmetoden har den åbenlyse fordele
i mange aspekter.Metalforstøvningsmål er blevet brugt på mange områder.Den vigtigste anvendelse af roterende mål.
■Solceller
■Arkitektonisk glas
■Auto glas
■Halvleder
■Fladskærms-tv mv
Ordreinformation
Forespørgsler og bestillinger skal indeholde følgende oplysninger:
☑Målspecifikation ID×OD×L (mm).
☑Nødvendig mængde.
☑Kontakt os venligst for mere specielle behov.